株式会社MSAファクトリー カスタムホット・クールプローバステージ「PSXY-100」
- 最終更新日：2014-04-22 10:29:03.0
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マニュピレータ、プローブカードなど多種のプローブに対応可能です。
カスタムホット・クールプローバステージ「PN-121-C型」は、ウエハ、ガラス基板、フィルムなどMSAのホットチャック（PHシリーズ）との組合せにより、高温(+400℃）~低温(-40℃）までの温度試験・評価が可能です。
カスタム対応品ですので、プローブカード、マニュピレータなどとの組合せができ、OEMにも対応いたします。
BESTな評価システムを製作いたします。
【特徴】
○カスタムプローバステージ
○デバイス、オンウエハ 評価システムの構築が可能
○装置メーカ様OEM対応品
○マニュピレータ、プローブカードなど多種のプローブに対応可能
○PH201-400は、最高温度400℃、6インチウエハ
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基本情報カスタムホット・クールプローバステージ「PSXY-100」
【仕様】
○プローブ形式：プローブカード、マニュピレータ各種
○搭載サイズ：ウエハ 6”以下、基板 □150mm
○ステージ温度制御：オプション-40~+200,室温~+200℃,室温~+400℃
○移動分解能：0.01mm
○除振台：オプション
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カタログカスタムホット・クールプローバステージ「PSXY-100」
取扱企業カスタムホット・クールプローバステージ「PSXY-100」
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数多いセミカスタムアイテムより選択し、カスタマイズすることにより自社にあった生産機器・治具を低価格にて提供する新システムです。
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