プログラマグルスパッタコーター　SC-701HMCII サンユー電子

Ni／Cr／Wなどに対応！ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

「SC-701HMCII」は、W(タングステン)/Ni(ニッケル)/Cr(クロム)/Ti(チタン)等の薄膜作製に適したマグネトロンタイプのプログラマグルスパッタコーターです。
フルオートとマニュアルの2通りの操作が可能で、ビギナーユースからプロフェッショナルユースまであらゆるニーズに応えます。ソフトウェアにるシステム制御により、成膜条件をより細かに、かつ格段に高い精度でコントロールすることができます。自動シャッター機構を標準装備しています。

【特長】
■フルオート／マニュアルの2通りの操作
■高精度を誇る制御系
■シャッター標準装置
→設定プログラムと連動して自動でオープン／クローズがおこなえる
■リアルタイムモニタリング
■デスクトップサイズのコンパクトなボディ

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基本情報プログラマグルスパッタコーター　SC-701HMCII

【仕様】
○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ
○試料台サイズ：φ70ｍｍ
○排気操作：自動
○スパッタ方式：DCスパッタ　マグネトロン型
○スパッタリング電流／電圧：0～50ｍA／0～3ｋV（システム制御）
○チャンバーサイズ：160（φ）×160（D）ｍｍ（SUS製）
○ガス導入機構：ニードルバルブ（システム制御）
○排気装置：直結型ロータリーポンプ　100l/min（自動リーク付）
○装置電源：単相 AC100V　50/60Hz 10A
○寸法・重量
・本体:360（W）/422（D）/265（H）mm、20kg
・RP:460.5（W)/173.5（D）/264（H）mm、22.4kg

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用途／実績例	【用途・実績例】 ○DCスパッタ装置として →W/Ni/Cr/Ti 等の成膜 →燃料電池用基礎実験 ●詳しくはお問い合わせください。