TMPタイプ　真空蒸着装置サンユー電子

簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置

「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP＋RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。
排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。
シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています
豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。
また、専用オプションにより、有機物の薄膜作製実験にも対応。
グローブボックス内設置に関するご相談も承ります(実績多数)。

【特長】
○コンパクトサイズ
○拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置
○簡単操作のTMP排気システム採用
○豊富なオプション
○グローブボックス内への設置も対応可能

関連リンク - https://www.sanyu-electron.co.jp/products/

基本情報TMPタイプ　真空蒸着装置

【仕様】
[排気装置：SVC-700TMSG]
○排気操作：全自動
○到達圧力：2×10⁻⁴Pa以下
○蒸着用電極：2組
○ガラスベルジャー：内径φ160mm×215mmH
○寸法(W/D/H)：340/460/544mm
[蒸着電源：SVC-7PS80]
○ヒーター電源：12V 45A/7V 80A
○寸法(W/D/H)：340/410/205.5mm

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型番・ブランド名	抵抗加熱式真空蒸着装置　SVC-700TMSG/7PS80
用途／実績例	【用途・実績例】 ○電極用途等の各種金属材料の蒸着 ○有機物蒸着実験（専用オプションが必要） ○グローブボックス内におけるLi等の蒸着 ○真空実験　etc.