コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」サンユー電子

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。
ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。

【特長】
○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付けられる構造
○抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能
→排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続

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基本情報コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

【基本仕様（抜粋）】
○放電形態：直流マグネトロン
○放電制御：定電流 30mA
○圧力制御：ニードルバルブによる手動制御
○プロセス時間：最大15min/タイマー制御
○プロセスガス：Ar（導入圧力 0.1MPa以下）
○プロセスガス導入口：φ6mmワンタッチ継手（シンフレックスチューブ用）
○ターゲットサイズ：φ49mm、t0.5mm（最大）
○ターゲット装着数：3種類
○適用可能ターゲット
→Au、Pt、Au-Pd、Pt-Pd、Ag、Pd、W、Ni、Mo、Cr、Ti、Al、Cu、Fe
○試料サイズ：最大φ50mm
○試料選択：ステージ回転式
○ターゲット／試料間(TS)距離：20mm、30mm、40mm
○ターゲット選択：シャッター方式
○給電方式：単独給電切替式（電源パネル操作）
○排気系：ターボ分子ポンプ(TMP) 67L/s(N2)、油回転ポンプ(RP) 20L/min
○到達真空度：1×10⁻³Pa以下
○真空度測定：コンビネーション型真空計（電離真空計+ピラニー真空計）

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価格帯	100万円 ~ 500万円
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