薄膜、バルク材の 複屈折 (x、y、z)を測定することができます。
測定するサンプル は空気圧作動式カップリングヘッドを用いてプリズムとフィルム間に小さな空気相を形成します。レーザー ビームはプリズムのベースへ入射し、通常全反射し光検出器に導入されます。
モード角度と呼ばれる 値にて、光子は、空気相からフィルム内部へ伝搬し、検出器に到達する光強度は急激な低下を引き起こし、光伝搬モードに入ります。
概算値として最初のモードの角度位置(dip)により屈折率が決定します。 また、複数のモード間の角度差より膜厚が決定し、屈折率と膜厚は完全に独立して測定することができます。
基本情報モデル 2010/M プリズム カプラー
● 特長
• 情報不要 – 事前に薄膜/基板の光学特性の情報不要
• 屈折率精度 ±0.0005 (最大精度 ±0.0001)可能
• アプリケーションにより 屈折率精度はさらに ±0.0003 (最大精度 ±0.00005) へ向上
• バルク、基板、または液体材料の複屈折/異方性などの高精度屈折率測定
• 薄膜または拡散光導波路 SPR センサー構造の高速(20秒)特性解析
• 屈折率 VS 波長 分散値が簡易に測定可能
• 屈折率 VS 温度 (dn/dT) および導波路損失測定用オプション
• 幅広い屈折率測定レンジ (1.0 ~ 3.35)
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型番・ブランド名 | Metricon |
用途/実績例 | ● アプリケーション ・プリズムカプラ 膜厚・屈折率計 ●詳しくはお問い合わせ下さい。 |