真空ピンセット 導電性Cシリーズ/耐薬品性Fシリーズは、ピンセット弁内部を鏡面仕上げ加工にすることで、優れた機密性、耐久性を発揮します。
また、ボタン開閉時の発塵を最低限に抑えました。
精密加工された独自のバルブ構造が、ウエハーの吸着、瞬間離脱の繰り返し作業を長期間にわたり安定した性能を約束します。
金属部分の露出を最小限に抑えていますので、安全なハンドリングができます。
【特徴】
○吸着チップは吸着面に高度な鏡面仕上げを施してある
○パーティクルの発生を防ぎ長期間の使用にも安定した吸着面精度を保つ
○ピンセット本体はコネクターによりチューブと接続されている
○本体をチューブから容易に取り外すことが可能
○吸着チップはサイズが豊富で各ウエハーサイズへの対応も
多岐にわたって選択可能
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基本情報真空ピンセット 導電性Cシリーズ/耐薬品性Fシリーズ
【特徴】
[導電性Cシリーズ]
○真空ピンセット本体は物性・導電性に優れた炭素繊維入りナイロン樹脂
○内部バルブ部分はフッ素樹脂を使用
○機密性を損なわない特殊成形方法により周囲を炭素繊維入りナイロンで
覆う構造
○従来のFシリーズと同様に軽快な弁の開閉動作が可能
○吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靭性に優れた
炭素繊維入り導電性PEEK樹脂を使用
[耐薬品性Fシリーズ]
○真空ピンセット本体はフッ素樹脂(4F-PTFE/3F-PCTFE)を使用
○精密加工により機密性、耐久性等長期間にわたり安定した性能
○吸着チップは耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れた
3F-PCTFE/PEEK/ベスペルの各樹脂を使用
○機械加工後、熱処理、鏡面加工を施し長期間にわたる使用にも
安定した性能を維持
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カタログ真空ピンセット 導電性Cシリーズ/耐薬品性Fシリーズ
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