クライオポンプ　CRYO-Uシリーズアルバック・クライオ

優れた信頼性、高性能と高品質、バラエティに富んだ豊富な機種をラインナップ。

クライオポンプ　CRYO-Uシリーズは、アルバック・クライオの真空技術と米国CTIの冷凍機技術をベースに、超電導、医療機器、測定器、冷凍容器分野で使用される極低温4K冷凍機などのために新たに開発されました。
優れた信頼性、高性能と高品質で、バラエティに富んだ豊富な機種をラインナップしております。
さらに、再生時間短縮のためにバンドヒーター、ノイズに強いクライオ温度計、自動再生装置など豊富なオプションもそろえております。

【特徴】
○他のポンプでは得られないクリーンな真空が得られる
○すべての気体が排気できる
○液体窒素が不要なので安いランニングコストで使用可能
○コンパクトデザインで軽量
○操作が簡単

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - http://www.ulvac-cryo.com/index.html

基本情報クライオポンプ　CRYO-Uシリーズ

【ラインナップ】
○CRYO-U4H/U6H/U8H/U10H/U12H
○CRYO-U16H/U16P/U20H/U20P
○CRYO-U22H/U22P/U22WB/U30H
○L型：CRYO-U8HL/U10HL/U12HL
[コンプレッサユニット]
○C10/C10AT/C15R/C40R
○C30VR/C30MVR/C30PVRT/C30PMVRT
[クライオマルチシステム]
○CRYO-U6H・3/U8H・3/U10H・2/U8H・4
[スパッタリングプロセス用クライオポンプ]
○CRYO-U8HSP/U1HSP/U12HSP
[スーパートラップ]
○スーパートラップシリーズ
○Speed TSシリーズ
[極低温冷凍機]
○4K冷凍機
○GM冷凍機
[オプション]
○再生用コントロールユニットARC型
○再生ガス配管ユニットPR型
○再生用バンドヒーターPBH型
○クライオ熱電対温度計MBS-C
○クライオメータMBD型
[特殊クライオポンプ]
○急速常温再生　他

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納期	お問い合わせください ※お問い合わせください。
用途／実績例	【用途】 ○真空蒸着装置 ○スパッタリング装着 ○イオン注入装置 ○半導体プロセス装置 ○加速器 ○核融合装置 ○表面分析装置 ○スペースチャンバ ○その他清浄な高真空、極高真空が要求される装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。