HELIOS（ヘリオス）は、高品質な光学膜製作用に開発されたスパッター装置です。特に低吸収・低分散が求められる多層フィルターの製造に適しています。HELIOSシリーズは400と800（基板サイズ）の2タイプをご用意しています。
基本情報光学薄膜用スパッター装置 HELIOS
【特徴】
・PARMS (Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering)プロセス技術を用い、アーキングのない高レートで安定した製膜を実現。
・MF（中周波）電源を用い金属酸化膜、窒化膜を製膜。
・膜厚制御はダイレクトモニターリング方式による高精度な制御が可能。
・200層以上および20ミクロン厚の多層膜厚のフィルターが作成可能。
・Co-Sputtering技術により中間屈折率のチューニングが可能。
その他詳細はお気軽にお問合せください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | HELIOS |
| 用途／実績例 |
取扱企業光学薄膜用スパッター装置 HELIOS
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■ビジネスユニット■ グレインクオリティ＆サプライ（穀物貯蔵、穀物搬送、モルト製造・醸造） ミリングソリューション（製粉） バリューニュートリション（パスタ、シリアル、スナック、代替タンパク質などの加工食品、飼料製造） デジタルテクノロジー（光学式選別、精米） コンシューマーフーズ（カカオ、ナッツ、チョコレート、焼き菓子、コーヒーの加工製造） 粉砕・分散(インキ、塗料、化粧品、電池・電子材料等の先端化学品素材製造） ライボルトオプティクス（光学薄膜成膜装置） ダイカスト（ダイカストマシン） ■業務内容■ プラントエンジニアリング プロセスエンジニアリング 機械設備の販売 メンテナンスサービス スペアパーツ販売 ■取扱製品■ 粉砕・分散機械、攪拌機、混合・混錬機、製粉設備、製菓・製パン設備（チョコレート、焼成菓子、キャンディなど）、コーヒー焙煎機、醸造・モルト製造設備、各種搬送システム、飼料製造設備、エクストルーダー、精米設備、光学式選別機、パスタ製造設備、エアログライド乾燥設備、ライボルトオプティクス（自動車用リフレクター製造設備）、ダイカストマシン
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