クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です｡
遠心力とエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡
クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡
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基本情報対向式スピンドライヤー(遠心乾燥機) 「H-840SA」
【仕様】
○駆動エアー 0.5Mpa (5Kg/cm2)
○最大処理量 6インチキャリア×2架 5インチ以下キャリア×2架又は4架
○許容積載重量 2,000g以内(各クレードルへの積載重量)
○ULPAフィルタ 有
○イオナイザ 有
○制御 PLC・インバータ
○操作部 釦スイッチ
○回転数 1,000rpm(常用回転数 800rpm)
○モータ インバータモータ
○電源 AC200V 3φ 50/60Hz 15A
○寸法 800(W)×990(D)×1004(H)mm 蓋開時の高さ1528(H)mm
○重量 180Kg
他、８インチまで対応の装置、手動機、自動機などのラインナップがございます。
半導体以外の用途でもお気軽にご相談ください。
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カタログ対向式スピンドライヤー(遠心乾燥機) 「H-840SA」
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