クールステージ「SEM用ペルチェ加熱冷却ステージ」エルミネット

観察範囲選択用3.6mm、6mmおよび12mmの交換レンズ付き

デーベン社は全ての低真空から高真空SEM用に汎用性の高いクールステージを開発いたしました。
クールステージはSEMの空いているポートを介し、取付けおよび取外しがユーザーによって容易に行えます。
－25℃付近に試料を冷却させ、低真空下でSEMイメージを観察すると、室温時と比べ水の蒸発が減少し明らかにその違いを観ることができます。

【特徴】
○標準温度範囲：-25℃～50℃（ at 50Pa, 室温20℃）
○5.6”モニターまたはPCバージョンのチェンバー内観察
○観察範囲選択用3.6mm、6mmおよび12mmの交換レンズ付き
○CE、RoHS、CSA＆UL規格適合

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関連リンク - http://www.elminet.co.jp/product.html

基本情報クールステージ「SEM用ペルチェ加熱冷却ステージ」

【仕様】
○標準温度範囲：－25℃～＋50℃ at 50Pa （室温20℃時）
　（オプション：－50℃～＋50℃　または：－25℃～＋160℃）
○温度精度：±1.5℃以内または設定温度の2％以内のどちらか大きい方
○最小温度表示桁数：0.1℃
○温度安定性：±0.2℃
○最大冷却/加熱速度：12℃/min
○キーパッドおよびディスプレイ：温度設定および温度表示用
○同時表示：現在温度および設定温度表示
○フィードスルーフランジ：接続用真空対応フィードスルーフランジ
○イメージドリフト抑制設計
○マイクロプロセッサーコントロール
○標準付属品：標準試料スタブ×10個、フチ付皿状試料スタブ×10個、
　　　　　　　ボールドライバーキット
○リモート読込およびコントロール用インターフェース：RS232またはUSB

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