RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能
・１％の精度で測定が可能。
・1μsの時間分解能で測定が可能
・単周波数のみでなく、複数の周波数が測定可能
（Ocye Poly Octiv Suite）
・イオンフラックスが測定可能 （Octiv Suite）
基本情報高周波計測器
Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。
・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス
・イオンフラックス
・Waveform reconstruction
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Impedans社 |
| 用途／実績例 | エッチング、スパッタ、イオンプレーティング等のRFパラメータの測定。 RF供給電源の性能確認。 |
取扱企業高周波計測器
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