新東Vセラックス株式会社 超精密測定器具「セラミックス製 超精密XYステージ」

姿勢精度2秒以下の高精度を実現!検査装置の位置決めに好適な超精密XYステージ

「セラミックス製 超精密XYステージ」は、液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージです。

【特長】
■高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。
■真直度精度:1μm以下を実現。
■姿勢精度:2秒以下の高精度を実現。
■最長3500stまで可能
■再現性0.2μm以内可能
■付属品:検査成績表

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。


※XYステージのデモ機を弊社展示スペースにて常設しております。
 是非、現物をご確認ください。

基本情報超精密測定器具「セラミックス製 超精密XYステージ」

【用途事例】
■液晶パネル検査装置(G4.5,G5,G8)
■XYテーブル
■位置決め装置
■画像処理検査
■FPD検査装置
■光導波路位置決め装置
■ウエハー検査
■ウエハー加工
■レーザー加工
■精密組立装置
■精密加工装置
■液晶パネル製造工程装置
■半導体製造工程装置

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 ~ 1ヶ月
用途/実績例 【用途事例】
■液晶パネル検査装置(G4.5,G5,G8)
■XYテーブル
■位置決め装置
■画像処理検査
■FPD検査装置
■光導波路位置決め装置
■ウエハー検査
■ウエハー加工
■レーザー加工
■精密組立装置
■精密加工装置
■液晶パネル製造工程装置
■半導体製造工程装置
など

取扱企業超精密測定器具「セラミックス製 超精密XYステージ」

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新東Vセラックス株式会社

主な製造品目 ・セラミックス製超精密測定器具 ・構造セラミックス ・セラミックス応用製品(精密XYステージ、エアスライダー他) ・耐摩耗部品 ・研磨材 ・セラミックス3Dプリンター

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