新東Vセラックス株式会社 超精密測定器具「セラミックス製 超精密XYステージ」
- 最終更新日:2023-02-15 13:51:20.0
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姿勢精度2秒以下の高精度を実現!検査装置の位置決めに好適な超精密XYステージ
「セラミックス製 超精密XYステージ」は、液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージです。
【特長】
■高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。
■真直度精度:1μm以下を実現。
■姿勢精度:2秒以下の高精度を実現。
■最長3500stまで可能
■再現性0.2μm以内可能
■付属品:検査成績表
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
※XYステージのデモ機を弊社展示スペースにて常設しております。
是非、現物をご確認ください。
基本情報超精密測定器具「セラミックス製 超精密XYステージ」
【用途事例】
■液晶パネル検査装置(G4.5,G5,G8)
■XYテーブル
■位置決め装置
■画像処理検査
■FPD検査装置
■光導波路位置決め装置
■ウエハー検査
■ウエハー加工
■レーザー加工
■精密組立装置
■精密加工装置
■液晶パネル製造工程装置
■半導体製造工程装置
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | ~ 1ヶ月 |
用途/実績例 | 【用途事例】 ■液晶パネル検査装置(G4.5,G5,G8) ■XYテーブル ■位置決め装置 ■画像処理検査 ■FPD検査装置 ■光導波路位置決め装置 ■ウエハー検査 ■ウエハー加工 ■レーザー加工 ■精密組立装置 ■精密加工装置 ■液晶パネル製造工程装置 ■半導体製造工程装置 など |
取扱企業超精密測定器具「セラミックス製 超精密XYステージ」
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