オーエヌ総合電機株式会社 半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」

ドラフト構造でクリーンルーム仕様!エッチング処理やレジスト除去する装置

「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。
発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。
使用不可となった薬液(フッ酸、 塩化鉄)と、有機溶剤(アセトン)は付設の専用タンクへ一括排出します。
クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。

【特徴】
○薬液槽、及び純水槽にはN2ガス散気システムを装備
○バブリングにより各液体の混合と高レベルの洗浄効果を発揮
○薬液槽はすべてPVC製トレイ上に設置
○アセトン槽にはSUS製トレイを設け、液ダレやオーバーフロー、
 排水への薬液混入に対処

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」

【概要】
○処理工程プログラムは、10パターンを任意で設定可能
○複雑な処理工程も、多彩なワークで対応
○自動消火システムと炎検知センサーにより、万が一の発火にも、
 CO2ガス噴射ですばやい消火が可能

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格情報 お問い合わせ下さい。
納期 お問い合わせください
※お問い合わせ下さい。
用途/実績例 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

取扱企業半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」

ON-logo.gif

オーエヌ総合電機株式会社

【営業品目】 [設計・製作] ○各種分析装置  COD自動測定装置、自動滴定装置、パルプ関連分析装置 等 ○化学機器設備  実験用小型プラント、新素材開発用設備、評価装置、  小規模化学設備 等 ○研究開発用設備  新素材開発実験装置、実証評価装置 等 ○原子力関連装置  活性炭効率試験装置、原子炉壁面除洗機 等 ○半導体関連装置  自動エッチング装置、薬液計量供給装置 等 ○計測制御応用装置  ガス混合供給装置、温度計測制御システム 等 ○薬液制御装置  シミュレータ、各種監視システム 等 ○その他  粉体制御装置、自動搬送システム、各種実験装置 [機器販売] ○電気計器、工業機器、環境測定器、制御部品、電設資材、  理化学機器 ○各種センサー加工品(SUS製缶加工、樹脂材加工、ガラス製品加工) ○メンテナンス(測定器・分析計等の現場保守点検、および修理)

半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

オーエヌ総合電機株式会社

半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」 が登録されているカテゴリ