サーマル式デジタルマスフローメータ/コントローラ　EL-FLOW ブロンコスト・ジャパン

高速応答で高精度！幅広い流量レンジと運転条件に対応可能なEL-FLOW Selectシリーズを掲載

ガス用マスフローメータ・コントローラEL-FLOWシリーズのハウジングは、研究所やクリーンなプロセス環境用に設計されています。
ELFLOWシリーズは1つのシリーズで流量レンジ0.014…0.7 mln/minから8…1670 ln/minまでをカバーし、運転圧力は真空から40 MPaに対応します。こうした幅広い流量レンジと運転条件に対応可能なEL-FLOWシリーズは、ブロンコスト製品の中で最も代表的で実績のある製品です。

【特徴】
○高速応答、高再現性
○高精度
○実質的に圧力・温度影響なし
○圧力レーティング最大40 MPa
○オプションで金属シールやダウンポートタイプも対応可能

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - https://www.bronkhorst.com/ja-jp/products-jp/gas-f…

基本情報サーマル式デジタルマスフローメータ/コントローラ　EL-FLOW

【仕様】
○精度 (直線性を含む) : 標準: ±0.5% Rdプラス±0.1%FS
　(実校正ベース) F-110C-005/F-200CV-005は±0.8% Rdプラス
　±0.2% FS, F-110C-002/F-200CV-002は±2% FS
○ターンダウン : 1 : 50 (デジタルモードでは最大 1:187.5)
○繰返性 : < 0.2% Rd
○セトリング時間(コントローラ) : 標準: 1…2秒
　オプション: 最小500ミリ秒
○制御安定性 : < ±0.1% FS (1 ln/min N2の典型値)
○運転温度 : -10…+70°C
○温度影響 : ゼロ: < 0.05% FS/°C; スパン: < 0.05% Rd/°C
○圧力影響 : 0.1% Rd/bar N2(典型値); 0.01% Rd/bar H2(典型値)
○リークレート(外部リーク) : Heリークテスト< 2 x 10-9 mbar l/s

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取扱企業サーマル式デジタルマスフローメータ/コントローラ　EL-FLOW

ブロンコスト・ジャパン株式会社

●マスフロー ●圧力計測と制御下記メーカー100%出資の日本法人・Bronkhorst High-Tech B.V. (オランダ) 下記メーカー製品の販売・Bronkhorst High-Tech B.V. (旧Bronkhorst CORI-TECH B.V.製品を含む) (オランダ) ・Bronkhorst Instruments GmbH (旧M+W instruments GmbH製品を含む) (ドイツ) ・Mass Flow ONLINE B.V. (オランダ)