クリーンルーム内の、使用したガスを無害化する装置のコントロールや状態監視などを行なうモニタリングシステム！
『クリーンルーム環境モニタリングシステム』は、使用したガスを無害化する装置のコントロールや状態監視などを行なうシステムです。半導体・液晶デバイスなどの製造や研究施設があるクリーンルーム内は特殊ガスなどを使用しているため、人体に危険な状況が発生する可能性があります。このため内部にいる作業員の安全確保が必要不可欠となります。SCADAソフトなどを使いガス制御、各センサーなど多彩な情報をリアルタイムでモニタリングおよびコントロールすることにより設備および作業環境の安全を確保します。
【特長】
■リアルタイムでモニタリング
■環境測定センサー配備
■SCADAソフトなどによるガス制御
※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
基本情報自動制御盤『クリーンルーム環境モニタリングシステム』
【システムスペック】
■入出力点数：アナログ/デジタルあわせて最大60,000点
■データ保存容量(アナログ)：1000点にて約1MB/日
■データ保存容量(デジタル)：1000点にて約128MB/日
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをご覧ください。
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