TEM･SEM･EPMA 用前処理装置/薄膜･電極膜作製装置としてお使いいただける真空蒸着装置
ラボテック株式会社 の『LA-V5050』は、スタンダード抵抗加熱式真空蒸着装置です。
デスクトップ型低価格ターボ式真空蒸着装置、操作性重視のコンセプト設計製品です。
スピーディーに高真空状態が可能で TEM・SEM・EPMA用の前処理作製が可能です。
また、カートリッジホルダの選択で薄膜デバイス/電極膜作製装置として使用可能です。
【特長】
■デスクトップ型
■操作性重視
■スピーディー
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
基本情報真空蒸着装置『LA-V5050』
【オプション】
■基板回転傾斜ユニット
■ガス導入ユニット MFC/ニードルバルブ
■水晶振動子式膜厚モニタ
■各種カスタマイズ機構対応可能
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| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 |
カタログ真空蒸着装置『LA-V5050』
取扱企業真空蒸着装置『LA-V5050』
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