マクロ検査装置『ARCscan　TypeRE&ME兼用』スミックス

今まで困難だった高速・高感度・大面積のマクロ観察が可能なツール！

『ARCscan　TypeRE&ME兼用』は、ミクロ観察では困難な広い領域における
パターン形状の均一性の解析・評価を可能とする装置です。

観察対象を最適化した光学条件を実現し、従来では困難であった高感度・高速・
大面積の検査を可能としました。

パターンに最適な条件でマクロ観察が可能な『Type:RE』と、マクロ光学系でナ
ノの評価が可能な『Type：ME』の兼用仕様。

【特長】
■観察対象を最適化した光学条件を実現
■困難だった高感度・高速・大面積の検査が可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://smics-jp.com/product/products3.html

基本情報マクロ検査装置『ARCscan　TypeRE&ME兼用』

【特性】
(Type:RE〕
■大面積のパターンの均一性を高速にマクロ検査
　→ナノインプリントモールド、導光板、拡散板、レンズアレイ
■エッジ反射マクロ光学技術でパターン形状と相関性の高いエッジ検出
〔Type:ME〕
■マクロ光学系でナノの評価が可能
　→シリコン・SiC・化合物ウェハのマクロ外観検査
■オフアクシス光学系で10nm以下のパターン群の変化を検出

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。