特殊炭素製品「半導体製造用　CZ装置」穴織カーボン

各種熱処理用パーツの加工などに対応！先端産業向けに広く貢献しております。

半導体製造用「CZ装置」は、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、
各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、
先端産業向けに広く貢献しております。
シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターとして高純度グラファイト
が使用されています。

【種類】
○ヒーター（光ファイバー用）
○ルツボ
○サセプター
○ダミーウエハ
○熱処理用治具　ほか

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関連リンク - http://www.anaori.co.jp/activities/activities_01.h…

基本情報特殊炭素製品「半導体製造用　CZ装置」

【加工部品】
■シリコン単結晶、多結晶用引揚炉用部品
→ヒーター・坩堝・カーボン断熱材
　カーボンフェルト・C/Cコンポジット部品　他各種部品
■プラズマCVD用部品

【特殊炭素製品ラインナップ】
○半導体向け
○熱処理用
○溶解炉用
○ガラス向け
○冶金向け
○歯科用
○ホットプレス
○燃料電池向け
○電解用
○放電加工用
○調理用

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