ローコストでフォトリソグラフイに必要な機能を完備！マスクアライナー
『実験・研究用マスクアライナー『ES410』は、ローコストながら
フォトリソグラフイに必要十分な機能を持ったマスクアライナーです。
ESシリーズならではの幅広いカスタマイズ性を備え、各種ユニットや
オプションを選択することで、さらに目的にフィットした装置に
セットアップ可能です。
また、ほとんどのユニットが後から追加・変更できるので、
将来のグレードアップにも対応致します。
フルマニュアル機なので各種実験、研究、フォトリソグラフイの学習などに
ご使用いただけます。
【特長】
■ESシリーズならではの幅広いカスタマイズ性
■各種ユニットやオプションを選択可能
■目的にフィットした装置にセットアップ可能
■ほとんどのユニットが後から追加・変更可能
■将来のグレードアップにも対応 他
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報実験・研究用マスクアライナー『ES410』
【仕様】
■形式
・等倍片面露光式マスクアライメント装置
■露光方式
・1・1等倍露光 コンタクトおよびプロキシミティ
■適応試料
・最大φ4インチ 厚さ3mm以内
・各サイズとも試料台の変更により対応可能
■固定方式
・真空吸着式
■適応マスク
・最大□5インチ 厚さ0．06または0．09インチ
・各サイズともマスクホルダの変更により対応可能
■固定方式
・真空吸着式
■マスクホルダ
・ヒンジ開閉式（メカロック付き）
■アライメント
・マスク固定、ウェハXYZ∂軸ステージ移動
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ実験・研究用マスクアライナー『ES410』
取扱企業実験・研究用マスクアライナー『ES410』
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