マイクロコンタクトプリンター『PA400S』ナノテック

高精度コンタクト圧制御！簡易的な光ナノインプリント実験も可能

マイクロコンタクトプリンター『PA400S』は、次世代のデバイス製作手法
として注目を集めるmCP（micro contact printing）法や簡易的な
光ナノインプリント（UV－NIL）法に対応する
マイクロコンタクトプリント装置です。

mCP法は急速に展開してきた有機エレクトロニクス分野や
バイオ用マイクロ構造体などを、PDMSスタンプによるチオールインク転写
によって製作します。
UV－NIL法では超微細マイクロデバイスを石英モールドおよび
光硬化樹脂によって製作します。
インク補充およびプリントプロセスで独立した2基のステーションは
高精度圧力センサおよびZ軸サーボコントロールでコンタクトスピード、
コンタクト圧力、距離、時間をプログラム制御可能です。

またマスクアライナーとしてもご使用頂けますので各種実験・生産に柔軟に対応します。

【特長】
■コンタクトスピード・コンタクト圧力をプログラム制御可能
■距離、時間をプログラム制御可能
■マスクアイライナーとして使用できる　他

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.nanotech-inc.co.jp/product.html

基本情報マイクロコンタクトプリンター『PA400S』

【仕様】
■プリント形式
　・Wステーション方式
　・（プリント／露光ステーションおよびインク補充ステーション）
■アライメント機構
　・XYZO¢（平行）軸、Z軸モータードライブ分解能0.1pm
　・ステーション2基は同一仕様
■Z軸モーション制御
　・スピード・加速・コンタクト圧力・高さ・時間
　・プログラム制御（オートブロック）およびジョグ運転
■コンタクト圧力範囲：1～100N（理論分解能1N）
■適応試料
　・対応サイズ最大□4インチ
■適応スタンプ
　・マスクアライナー時は適応マスク
　・サイズ最大□5インチ　厚さ0.06または0.09インチ
■適応スタンプ台
　・サイズ最大□4インチ
■露光方式
　・1：1等倍露光コンタクト（コンタクト圧調整可）およびプロキシミティ
■露光性能（標準）
　・コリメータレンズ方式250Wφ80mm 均一度±15%
　・6mW/cm2 at365nm（アップグレード可能）
■アライメント方式
　・双対物CCD＆モニタ観察顕微鏡による目視アライメント

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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