エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため
コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で
動作します。
進行方向に対してスリムなモデルです。
スリムなメリット
・省スペースで長いストローク
・定盤のスペース確保
・検査装置の小型化
基本情報スリム型100nm分解能ステージ（40mm）
型式：FS-1040X(S)
分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値）
再現性：±200nmまたは±100nm（内蔵スケール読み値）
ストローク：40 mm
最高移動速度：10 mm/s
テーブルサイズ：80×60 mm
対応コントローラ：FC-111 or FC-411
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1040X(S) |
| 用途／実績例 | 精密な位置決めが必要な分野 光学研究での治具 精密部品の検査装置 |
取扱企業スリム型100nm分解能ステージ（40mm）
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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