シグマ光機株式会社 スリム型100nm分解能ステージ(50mm)

エンコーダ内蔵!高分解能位置決めステージ

自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため
コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で
動作します。
進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。

スリムなメリット
・省スペースで長いストローク
・定盤のスペース確保
・検査装置の小型化

基本情報スリム型100nm分解能ステージ(50mm)

型式:FS-1050X(S)
ストローク:50 mm
専用コントローラ使用時
分解能:100 nmまたは50 nm(内蔵スケール読み値)
再現性:±200nmまたは±100nm(内蔵スケール読み値)
最高移動速度:10 mm/s
テーブルサイズ:80×60 mm
対応コントローラ:FC-111 or FC-411

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FS-1050X(S)
用途/実績例 精密な位置決めが必要な分野
光学研究での治具
精密部品の検査装置

取扱企業スリム型100nm分解能ステージ(50mm)

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

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