株式会社イオンテクノセンター分析『二次イオン質量分析』

最終更新日：2019-03-18 11:47:05.0
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優れた測定が可能にする分析手法です！

『二次イオン質量分析』は、数keVのCsやO2イオンをサンプルに照射して
放出される二次イオンの質量分析により、水素を含む全元素の組成分析を
行う手法です。

高感度の元素分析や低エネルギーイオンによる深さ分解能の優れた測定が
可能になっています。

【特長】
■水素を含む全元素の組成分析を行う
■元素分析が可能
■低エネルギーイオンによる深さ分解能の測定が可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://iontc.co.jp/device/sims.html

基本情報分析『二次イオン質量分析』

【アプリケーション】
■ドーパントプロファイル評価
■薄膜組成分布評価
■表面・断面の元素面分布評価

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