様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です！
『WPA800S』は、同軸バレル構造をチャンバーに持つウエハ50枚のバッチ式
プラズマアッシング装置です。
ウエハサイズ200mm（8インチ）に対応しており、シリコンウエハ上に
形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起によって、
低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等の多様なプロセス用途に
利用が可能です。
【特長】
■同軸バレル構造
■50枚バッチ式
■ウエハサイズ200mm（8インチ）に対応
■簡単レシピ入力
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報プラズマアッシング処理装置『WPA800S』
【仕様】
■本体寸法：幅(W)850mm×奥行き(D)1,500mm×高さ(H)2,200mm
■ユーティリティー
・電源：200VAC(3相)、60Hz、60A
・処理ガス1：02/2,000sccm
・ドライエア、パージガス（N2）
・ポンプ排気：7,000L/min
■ウエハ搬送方法
・垂直動作カセットエレベーター
・水平・旋回動作吸着方式ロボット
・ウエハはみ出し、取り残し検知機能付き
■機能
・10インチTFTカラータッチパネル
・シーケンサー
・シグナルタワー（3灯タイプ）
■オプション
・プロセスチャンバー用ドライポンプ
・1系統プロセスガス増設可
・EPDシステム
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログプラズマアッシング処理装置『WPA800S』
取扱企業プラズマアッシング処理装置『WPA800S』
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