ウルトラファストダイヤフラムバルブ『UFシリーズ』ハムレット・モトヤマ・ジャパン

超高純度ダイヤフラムバルブ。原子層蒸着（ALD) ・高速スイッチ（5ms未満）用途で約1億回の開閉が可能（弊社試験条件下）。

ウルトラファストシリーズは、原子層蒸着（ALDプロセス)用途に代表される、正確に同じ条件で安定稼働し続けることを要求される高速開閉かつ高温の高純度プロセス向けに設計されています。独自の流量調節メカニズム（特許出願中US61/910，079号）を採用し正確な流量を保つよう微調整しながら使用することが可能です。

＜特長＞
・高速バルブ開閉（バルブ反応時間： 5ms未満）
・超高寿命（１億回の開閉試験に合格）
・耐圧：真空～1MPa（150psi）
・ボディ材質： SS316L VARまたはVIM/VAR（SEMI F20-0305準拠）
・使用温度範囲： -10～120℃（標準ボンネット）
　　　　　　　　 -10～200℃（延長ボンネット）
・サイズ： 1/4"、1/2"
・表面仕上げ（平均）： 5uインチ
・バルブタイプ： 2ポート、3ポート、4ポート
・オプションで熱電対、ヒーターカートリッジ穴加工対応
・オプションでソレノイドバルブ、リミットスイッチに対応

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基本情報ウルトラファストダイヤフラムバルブ『UFシリーズ』

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型番・ブランド名	UF
用途／実績例	原子層蒸着（ALD)用途

取扱企業ウルトラファストダイヤフラムバルブ『UFシリーズ』

株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

・一般産業界およびハイテク産業界むけにHam-Let社製チューブフィッティング、バルブ、フレキシブルホース、フィルタ等の配管部品を提供しております・国内に物流拠点を構え標準的なアイテムについては豊富な在庫を持ちお客様へ提供。海外メーカーでありながら国内メーカーに負けない即納体制で対応します・国内拠点には営業担当の他に技術、品質保証担当者がおり、お客様のニーズに合わせた商品提供が可能。もしもの場合にも品質保証担当者が丁寧に対応します・Ham-Let社商品の他に国内外協力会社様より配管部品を仕入、販売を致します。特にグループ会社よりエンクロージャーやフランジバルブのような特殊な製品の入手が可能です。国内メーカー製のチューブや圧力計もお取扱いしております