シグマ光機株式会社 サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114

100nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。

FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。
ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場合にはこのコントローラを使用します。

外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。

基本情報サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114

型式:FC-114
接続対象ステージ:FS-3200X、FS-3300X、FS-3400X、FS-2200X、FS-2300X、FS-2400XとFC-111と同様のステージ
制御軸数:2
最小指令単位:100nm
インポジション範囲:±100nm(±300nm、±700nm 選択可)
最大動作速度設定:100mm/sec(接続ステージの性能に依存)
制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド)
スローダウンセンサ:対応
ORGセンサ:対応
電源:AC100V~240V

価格帯 10万円 ~ 50万円
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FC-114
用途/実績例 顕微鏡ステージ用途
光学系のアライメント調整やディレイ調整用途
マイクロデバイス同士の接続用途
試験機や評価装置の位置決め用途
先端研究での位置決め用途

ラインナップ

型番 概要
FC-111 FC-101の後継機
FC-114 FC-111にスローダウンセンサとORGセンサの入力に対応したもの

カタログサブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114

取扱企業サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114

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