ピエゾパーツ株式会社 膜厚モニタークリスタル 【6MHz】

用途に合わせた多様なラインナップ!真空蒸着時の物理膜厚を検知するセンサー

ピエゾパーツの『膜厚モニタークリスタル』は、真空成膜時に使用され
物理膜厚を検知するセンサーです。

専門メーカーによる発振のばらつきを抑えたセンサーを提供しており、
5MHzと6MHzの2タイプが用意されています。

特殊品として、結晶の軸方向を特定することで水晶の温度特性や副振動を
改善し精度を向上させることが出来る「両面オリフラ加工品」や、
鏡面研磨をすることによって発振強度を高めることが出来る
「ポリッシュ加工品」があります。

【特長】
■5MHzと6MHzの2タイプ
■両面オリフラ加工品やポリッシュ加工品あり
■より発振のバラつきを抑えたセンサー

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報膜厚モニタークリスタル 【6MHz】

【仕様】
■5.000MHz
・外径寸法:φ12.5
・電極材料:Au、Ag、Al-alloy
■6.000MHz
・外形寸法:φ14
・電極材料:Au、Ag、Al-alloy

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ膜厚モニタークリスタル 【6MHz】

取扱企業膜厚モニタークリスタル 【6MHz】

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ピエゾパーツ株式会社

・膜厚モニター水晶の製造販売 ・膜厚モニター水晶のリサイクル加工受託 ・QCMセンサーの製造販売 ・膜厚モニターガラスの販売 ・成膜加工受託 ・蒸着装置関連消耗品 ・特殊ゴムキャップ付きピンセット製造販売 ・真空装置のメンテナンス・改造・据付・移設

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