位置決めテーブル『VT125VST-XY』メガトラスト

高真空対応！互換性も高い位置決めテーブル

当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。

当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った
的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。

また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ（大気用）と同等サイズ
バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を
することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。

【特長】
■高真空（1×10-5pa程度）対応
■真空対応ステッピングモータを採用
■真空対応フォトセンサを採用
■真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを選択

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.mega-tech-jp.com/index.htm

基本情報位置決めテーブル『VT125VST-XY』

【主な仕様】
■外形サイズ：W188×L188×H38[mm]
■テーブルサイズ：125×125[mm]
■移動量：25[mm] XY軸共
■駆動：5相ステッピングモータ
■ガイド：クロスローラガイド
■質量：3.0［kg］
■主材質：アルミ合金
■表面処理：特殊Niめっき
■耐荷重：2.0[kg]
■繰り返し位置決め精度：±50[μm]
■ヨーイング・ピッチング：30[arcsec]

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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