真空仕様ローラガイド『真空用ミリオンガイド V-GNシリーズ』アイセルグループ

最大10-5Paの真空環境に対応！高剛性、不回転を実現した直動ガイド新製品

転動体にニードルローラを採用することで、高精度な直進性を実現した
ローラガイド『ミリオンガイド』に、真空用『V-GNシリーズ』が新登場。

オールステンレス製で、ベーキングに要求される熱やガスなどへの対策を実施。
大気圧から10-5Paまでの真空環境に対応可能です。

【ポスト・ブシュ・ローラの特長】
■マルテンサイト系ステンレス鋼を採用
■特殊熱処理により耐熱性を向上（ベーキング温度最高200℃まで対応）
■表面処理にバフ研磨を採用。アウトガスの発生を抑制

【その他の特長】
■オーステナイト系ステンレス鋼をリテーナに採用
■フッ素系真空グリース（ダイキン工業製　デムナムL200）を採用

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報真空仕様ローラガイド『真空用ミリオンガイド V-GNシリーズ』

【使用用途例】
・半導体製造装置
・FPD製造装置
・真空薄膜作製装置
・ストレージデバイス装置　など

【対応シリーズ】
GNZ・GNG・GNS・GNSH・ZG

※シリーズに関しては当社HP（http://isel.jp/mg/mg.htm）をご覧ください。
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