株式会社魁半導体 プラズマモニター PM-KJ001

プラズマモニター

プロセス管理・リーク管理・エンドポイントの検出に!

基本情報プラズマモニター PM-KJ001

【特徴】
プラズマの発光色をRGBセンサでモニター。
お持ちの真空装置のビューポートに設置するだけ※1で使用OK。
PC※2と接続することで簡単操作、記録も可能。
高コストパフォーマンス。(¥111,109~)
※1. ホルダーは別売りです。各種真空ポートに接続するアダプターも用意しています。
※2. PCは商品に含まれません。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 PM-KJ001
用途/実績例 【用途】
プロセス管理
リーク確認
エンドポイントの検出

取扱企業プラズマモニター PM-KJ001

イメージ画像mini.jpg

株式会社魁半導体

・液体ソースを用いた堆積装置、表面改質装置等を含むプラズマを用いた各種半導体製造装置の開発、および製造販売 ・工業用石英ガラスの販売、および加工 ・委託研究による半導体製造装置の開発および製造販売 ・堆積代行、エッチング代行 ・半導体プロセスのコンサルティング業務

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