樫山工業株式会社 ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

ハードプロセス向け!ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ

『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で
高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。

ウエハー、FPDの大型化に対応します。
組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。

さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの
高速排気によりタクトタイムを短縮します。

溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。

【特長】
■ハードプロセス向け
■ウエハー、FPDの大型化に対応
■タクトタイムの短縮

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

【ラインアップ】
■SDL12E50
■SDL20E50
■SDL36M60
■SDL40E60
■SDL40E201
■SDL40EW201
■SDL80201

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

取扱企業ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

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樫山工業株式会社

○真空機器事業 ・半導体・液晶業界向け水冷ドライ真空ポンプ ・一般産業・研究用途向け空冷式ドライ真空ポンプ ・水封式ポンプ ○スキービジネス事業

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