ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で
高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。
ウエハー、FPDの大型化に対応します。
組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。
さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの
高速排気によりタクトタイムを短縮します。
溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。
【特長】
■ハードプロセス向け
■ウエハー、FPDの大型化に対応
■タクトタイムの短縮
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』
【ラインアップ】
■SDL12E50
■SDL20E50
■SDL36M60
■SDL40E60
■SDL40E201
■SDL40EW201
■SDL80201
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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