ガス導入型真空プラズマ装置チェッカーズ

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズマ装置！材料の表面改質・洗浄にお使い頂けます！

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！
本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪

基本情報ガス導入型真空プラズマ装置

プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』
2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャー企業として設立。
昨年の『関西フロントナー大賞』『京都中小企業優秀技術賞』を受賞。
社内の技術者が様々なニーズに対応いたします。
本製品は文部科学省の支援事業『京都環境ナノクラスター』に協力頂き
製品化を実現致しました。

【特徴】
○回転チャンバー搭載
○様々なガスの導入が可能
○タッチパネル制御で使用方法が簡易

【オプション対応致します】
設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。
お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させていただいております。
◇圧力調整
◇RFタイプ
◇クリーンボックス
◇ステージサイズ
◇POWERコントロール　など・・・

その他お気軽にご相談下さい。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【分野】＜エレクトロニクス＞・半導体・・・・・前工程、後工程・基板・・・・・サブストレート、リードフレーム、めっき・電子部品・・・・・LED、MEMS、光学、センサー・ディスプレイ・・・・・有機EL、電子ペーパー、フィルムディスプレイ・太陽電池、燃料電池【材料】・金属、樹脂、フィルム、繊維、粉＜自動車/航空機＞・カーエレクトロ二クス、パワーデバイス、内装・外装部材、照明＜バイオ/医療＞細胞培養・歯科医療・不織布・滅菌等【用途】・洗浄/有機物質の除去/表面改質/親水性の向上/接着効果の改善/印刷・塗装の前処理【実例】・ガラスの洗浄・接着前処理・LSIの洗浄・接着前処理・樹脂成型品の洗浄・接着前処理・太陽電池、燃料電池の基板洗浄・有機EL 、デジタルサイネージ関連ディスプレイ、液晶基板の端子洗浄・ワイヤーボンディングの前処理・フィルムの洗浄・接着前処理・MEMSの洗浄等・メッキ前洗浄・紙への印刷前処理・半導体プレート洗浄・シリコンウェハーの洗浄　等・・・・