3種類のナノインプリント機能搭載！温度や圧力の条件を自由に設定可能です
明昌機工の『NM-0501』は、半導体集積回路線幅のナノレベルを、
簡易かつ低コストで上げる為に開発された、ナノインプリント装置です。
熱インプリント、室温インプリント、光インプリントの
3種類のナノインプリント機能を搭載しています。
インプリントに欠かせない温度、圧力の条件を自由に設定可能。
ステップ&リピートによる4回連続転写が可能です。
【特長】
■フレキシブル条件設定
■ステップ&リピート機能搭載
■3種類のナノインプリント機能
・熱インプリント
・室温インプリント
・光インプリント（オプション）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ナノインプリンター『NM-0501』
【仕様】
■装置構成
・装置本体（クリーンルーム対応）
・冷却水循環装置
■基板サイズ
・モールド：φ2インチ以下
・試料基板：φ4インチ以下
■基板温度調整範囲：20～300℃
■ステップ&リピート：X.Y方向±15mm
■加圧調整範囲：0～19kN
■外径寸法：
・装置本体：1035W×915D×1903H
・冷却水循環装置：340W×394D×851H
■重量：
・装置本体：約850kg
・冷却水循環装置：約40kg
■電源：
・AC200V 50A
・50/60Hz
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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