金属酸化膜の安全な還元と洗浄を実現！水蒸気を用いたプラズマ処理装置
『Aqua Plasma クリーナー』は、主に水蒸気を用いた
プラズマ処理装置です。
金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、フォトレジストアッシング、
親水化などの表面処理を、安全に効率よく行うことができます。
銀電極、銅電極の還元、改質、洗浄やその他酸化金属の還元、
樹脂の表面改質、親水化、アッシングなどに応用可能です。
【特長】
■金属酸化膜の安全な還元と洗浄を実現
■酸素の添加により洗浄速度の高速化が可能
■水蒸気生成、供給量の自動コントロールシステムを内蔵
■専用デザインにより、設置面積を従来の60％に削減
■多段処理に対応（最大3段）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報還元性プラズマクリーナー『Aqua Plasma クリーナー』
【その他特長】
■タッチパネル操作による自動運転およびレシピの保存
■ユーザーレベルと運転モードの切り替え機能付き
■各種インターロックと異常検知機能付き
■ライトタワー標準装備
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■銀電極の還元、改質、洗浄 ■銅電極の還元、改質、洗浄 ■その他酸化金属の還元 ■樹脂の表面改質、親水化、アッシング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業還元性プラズマクリーナー『Aqua Plasma クリーナー』
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