これ一台で真空度も気体成分も計れます！残留ガス成分も測れる真空計、真空装置の健康診断に！
Smart Vacuum Gauge（S Gauge）SC-22は、弊社が開発した新方式の、残留ガス成分と全圧（真空度）の両方を計れる自動真空計です。
RGA（Qマス）の働かない荒引き真空でも気体成分計測リークチェックができます。コールドカソードゲージがベースなので、フィラメントが無くタフな環境でも使用できます。
全圧は一体に組み込まれたワイドレンジ真空計で大気圧から超高真空までの真空ができます。残留ガス成分の測定は全圧が約10Pa以下で自動的に始まります。
【特長】
■面倒な操作は不要
■ポータブル
■低真空でも残留ガス測定が可能
■タフで汚れにも強い
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
基本情報残留ガス分圧計付真空計『SC-22』
【S Gaugeの測定原理】
S Gaugeは全圧を測定するコールドカソードゲージの放電の色で気体成分を見分けています。光の色（波長）が気体成分によって異なることを利用して成分を測定しています。S Gaugeのスペクトルモード画面で気体成分の波長を見ることもできます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
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| 用途／実績例 | 【応用例】 ■装置の異常を素早く検知 ■簡単にリークチェック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。 |
カタログ残留ガス分圧計付真空計『SC-22』
取扱企業残留ガス分圧計付真空計『SC-22』
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