有機・無機問わず高いエッチング効果！
Siやカーボン膜のエッチング！
その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に
お使い頂けます♪
基本情報プラズマエッチャー【CPE.S-200A】
出力 MAX300W
周波数 13.56MHz
外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm
重量 約 85Kg
ガス系 マスフロコントローラ１系統(２系統はオプション)
浮子式流量計
ステージ寸法
φ200mm
電源 AC100V 50/60Hz 15A
真空ポンプ 135/160 ( リットル/min )
操作方法 タッチパネルによる自動操作
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | CPE.S-200A（Chemical Physical Etching） |
| 用途／実績例 | 【表面改質】 ☆内容 ・表面改質/ドライ洗浄/親水性の向上/接着効果の改善/ 印刷・塗装の前処理/有機物質の除去/濡れ性の向上/細胞培養等・・・ ☆材料 金属・ガラス・樹脂・紛体・チューブ等 【エッチング】 ☆内容 ・ドライエッチングの受託加工(シリコン・ガラス・金属) 【成膜】 ☆内容 ・SiO2膜・TEOS膜の製膜 【実例】 ☆内容 ・ガラスの洗浄・接着前処理 ・LSIの洗浄・接着前処理 ・樹脂成型品の洗浄・接着前処理 ・太陽電池、燃料電池 の基板洗浄 ・有機EL 、デジタルサイネージ関連ディスプレイ、液晶基板の端子洗浄 ・ワイヤーボンディングの前処理 ・フィルムの洗浄・接着前処理 ・MEMSの洗浄等 ・メッキ前洗浄 ・紙への印刷前処理 ・半導体プレート洗浄 ・シリコンウェハーの洗浄 等・・・・ |
カタログプラズマエッチャー【CPE.S-200A】
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