日本エム・ケー・エス株式会社 汎用型マスフローコントローラ『1179C』
- 最終更新日：2023-08-04 17:29:59.0
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『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の
マスフローコントローラです。
10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで
高速で再現性の高い流量制御が可能です。
また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置
としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。
電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた
Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。
MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。
【特長】
■要求の厳しいプロセスに対応
■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性
■フルスケールレンジ10sccm～20simで正確で再現性の高い流量測定、制御
■アナログはフルスケールのパーセント精度
■高速ウォームアップでダウンタイム低減
■他のMKS製MFC、電源リードアウトと互換性あり
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報汎用型マスフローコントローラ『1179C』
【その他の特長】
■頑丈で信頼性の高いデザイン
■頑丈な設計とMTBF分析、STRIFEなどの試験により長期安定した性能保証
■接ガス部ステンレス表面仕上、クリーンルーム組立、最小限度の
エラストマーシール適用により、要求の厳しいクリーンプロセスで使用可能
■CEマークRoHS適合
■品質、顧客満足の2年保証
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業汎用型マスフローコントローラ『1179C』
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半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。 真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。
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