ピエゾパーツ株式会社 真空蒸着用、Rate/膜厚制御センサー
- 最終更新日：2018-08-06 15:21:14.0
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個体差を極力抑えた真空膜厚時の物理膜厚を検知するセンサー
ピエゾパーツの『膜厚モニタークリスタル』は、真空成膜時に使用され
物理膜厚を検知するセンサーです。
専門メーカーによる発振のばらつきを抑えたセンサーを提供しており、
5.0MHzと6.0MHzの2タイプが用意されています。
特殊品として、結晶の軸方向を特定することで水晶の温度特性や副振動を
改善し精度を向上させることが出来る「両面オリフラ加工品」や、
鏡面研磨をすることによって発振強度を高めることが出来る
「ポリッシュ加工品」があります。
【特長】
■5.0MHzと6.0MHzの2タイプ
■両面オリフラ加工品やポリッシュ加工品あり
■より発信のバラつきを抑えたセンサー
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報真空蒸着用、Rate/膜厚制御センサー
【仕様】
■5.000MHz
・外径寸法：φ12.5
・電極材料：Au、Ag、Al-alloy
■6.000MHz
・外形寸法：φ14
・電極材料：Au、Ag、Al-alloy
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ真空蒸着用、Rate/膜厚制御センサー
取扱企業真空蒸着用、Rate/膜厚制御センサー
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・膜厚モニター水晶の製造販売 ・膜厚モニター水晶のリサイクル加工受託 ・QCMセンサーの製造販売 ・膜厚モニターガラスの販売 ・成膜加工受託 ・蒸着装置関連消耗品 ・特殊ゴムキャップ付きピンセット製造販売 ・真空装置のメンテナンス・改造・据付・移設
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