日本インテグリス合同会社 個数カウント式粒度分布測定器『AccuSizerシリーズ』
- 最終更新日：2021-04-06 15:31:09.0
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『AccuSizerシリーズ』は、光学的検知方式（Single Particle Optical Sensing：SPOS法）より、レーザーセンサーを通過する全ての粒子のサイズとその個数を計測し、粒度分布を測定する理想的な粒子個数及び粒度分布測定器です。
センサーを通過する個々の粒子から発生するパルス数から粒子個数を、パルス高さから粒子径を測定するため高分解能な測定結果を得ることができます。
光散乱方式と光遮蔽方式の２つの異なった原理の検出方式を併用できるユニークな光学的機構を採用したため、サブミクロンからの広範囲な測定を可能にしました。
希釈溶媒は電気抵抗式で使用されるような電解液である必要はなく、水から有機溶媒まで幅広い溶媒に対応できます。
【特長】
■粒子定量（counts/mL）が可能
■僅かな粒度分布の変化に対応
■希釈液を自由に選択可能
■自動希釈装置の採用
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報個数カウント式粒度分布測定器『AccuSizerシリーズ』
【ラインアップ】
■スタンダードモデル
・AccuSizer A7000 AD：1段階希釈方式の自動希釈装置を付属
・AccuSizer A7000 APS：2段階希釈方式の自動希釈装置を付属
・AccuSizer A7000 SIS：シリンジサンプラーモデル
■特別方試験・コンタミ管理モデル
・AccuSizer A2000 USP：米国薬局方（USP788）に対応
・AccuSizer Mini：オンラインでスラリーの品質管理を行うことに適応
【仕様】
■測定範囲
・LE0400-05センサー：0.5～400μm（標準）
・LE01000-2センサー：2～1,000μm
・LE02500-3センサー：3～2,500μm
■チャンネル数：16、32、64、128、256、512可変
■使用可能溶媒：水系、溶剤系（オプション、SISは標準）
■電源：AC100V・5A
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|---|---|
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カタログ個数カウント式粒度分布測定器『AccuSizerシリーズ』
取扱企業個数カウント式粒度分布測定器『AccuSizerシリーズ』
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液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。 液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。 液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。 デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。 表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム 上記製品の開発、販売、サービス。
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