株式会社東京インスツルメンツ マイクロ波VFMオーブン VariWave

反り・歪みの発生を抑えた精密接着、高速&低温硬化

「VariWave」(米国LAMBDA Technologies社製)は、『接着剤・樹脂の高速硬化かつ精密接着』を可能とする 特許VFM技術(Variable Frequency Microwave)を搭載した周波数可変型マイクロ波オーブンです。通常の電子 レンジや工業用マイクロ波加熱装置では、2.45GHz固定周波数が使用されますが、VFMでは5~7GHz帯を高速で スイープ(掃引)して使用します。このVFMオーブンは、庫内全体の均一加熱、金属物の投入、加熱対象物の温度制御(昇温速度制御・一定温度保持)が可能など、従来のマイクロ波加熱の常識を覆す沢山の特長を有しています。 これらの特長により、接着剤・樹脂の硬化プロセスで今まで不可能だった処理を可能とし、革新的な硬化プロセスを構築します。

装置には、各種センサーが挿入できるポート、非接触温度計、クローズドループ高精度温度制御機能、試料観察カメラ、ガス導入・排出用NW10x2ポートが標準で用意されており、必要に応じで、簡易的な真空環境下、ガス雰囲気下での処理を行うことも可能です。

基本情報マイクロ波VFMオーブン VariWave

【特長】
・接着剤、樹脂の硬化(高速かつ高精度処理)
・電池材料の乾燥(ボイドバインダーマイグレーションを抑制)
・シリコンウェハの加熱(高速加熱、高速冷却)
・化学反応性材料の反応促進
・熱硬化性樹脂による半導体やLEDの精密パッケージング
・バイオマテリアル、バイオ燃料の研究
・製薬、バイオ医療品(滅菌、雑菌、化学合成)
・触媒材料の開発(液体、紛体、ガス試料への高効率マイクロ波照射)
・新素材研究 ほか

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【導入実績】
・半導体パッケージング(ダイボンディング、封止)
・半導体ウェハープロセス(アニーリング)
・産業用プロセス(Web乾燥、ボンディング、コンポジット硬化)
・リチウムイオン電池の電極乾燥
・ライフサイエンス(滅菌、化学合成、触媒)
・自動車産業(炭素繊維の合成材料接着)
・プラズマ製品(CVDダイアモンド)
・バイオマテリアル、バイオ燃料の研究
・医薬品、製薬
・新素材研究

取扱企業マイクロ波VFMオーブン VariWave

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株式会社東京インスツルメンツ

分光・分析・光ナノテクノロジーの計測と加工 レーザーを用いた分光計測(レーザー計測)が主体

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