株式会社真空デバイス TEMホルダー保管装置TVS-40T
- 最終更新日：2023-07-12 10:19:18.0
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４本の独立した排気操作が可能なオイルフリー保管装置です。コンタミネーションの付着を大幅に低減します。
本装置はＴＥＭホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。
独立した真空室に保管するため、個別に出し入れが可能です。ＴＥＭホルダーポートはお客様のお使いのＴＥＭホルダーに合わせて製造いたします。
基本情報TEMホルダー保管装置TVS-40T
ＴＥＭホルダーについて
ＴＥＭホルダーポートを４本搭載。お手持ちのホルダーに合わせたポートを作成します。ＴＥＭメーカー各社の特殊ホルダーに対応可能です。
独立排気系によりホルダー交換時、他の保管ホルダーは大気に晒されません。各ホルダー試料部が見られるガラス窓付き（ＮＷ４０フランジ）
操作性
タッチパネル搭載で操作も簡単。プログラム制御による自動排気シーケンスやインターロック制御を搭載。
ポンプのメンテナンス時期を画面に表示してお知らせいたします。
| 価格情報 | お問い合わせください |
|---|---|
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ＴＶＳ－４０Ｔ |
| 用途／実績例 | TEMホルダーを真空中で保管するための装置です。 |
カタログTEMホルダー保管装置TVS-40T
取扱企業TEMホルダー保管装置TVS-40T
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○実験器具・装置の開発 ○電子顕微鏡試料作製の開発、製品化、販売、サービス 〇スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ処理装置、プラズマCVD装置、RFスパッタ装置、真空コンポーネント
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