TEMホルダー保管装置TVS-40T 真空デバイス

４本の独立した排気操作が可能なオイルフリー保管装置です。コンタミネーションの付着を大幅に低減します。

本装置はＴＥＭホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。
独立した真空室に保管するため、個別に出し入れが可能です。ＴＥＭホルダーポートはお客様のお使いのＴＥＭホルダーに合わせて製造いたします。

関連リンク - https://www.shinkuu.co.jp/tem-holder-storage/tvs-4…

基本情報TEMホルダー保管装置TVS-40T

ＴＥＭホルダーについて
ＴＥＭホルダーポートを４本搭載。お手持ちのホルダーに合わせたポートを作成します。ＴＥＭメーカー各社の特殊ホルダーに対応可能です。
独立排気系によりホルダー交換時、他の保管ホルダーは大気に晒されません。各ホルダー試料部が見られるガラス窓付き（ＮＷ４０フランジ）

操作性
タッチパネル搭載で操作も簡単。プログラム制御による自動排気シーケンスやインターロック制御を搭載。
ポンプのメンテナンス時期を画面に表示してお知らせいたします。

価格情報	お問い合わせください
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	ＴＶＳ－４０Ｔ
用途／実績例	TEMホルダーを真空中で保管するための装置です。