FA装置用Z軸多面形ガイド半導体製造装置位置決め機構コストダウンアイセルグループ

FA装置用Z軸ミリオンガイド『ZGシリーズ』

『ミリオンガイドZGシリーズ』は、転動体にローラーを使用することで剛性を高めたFA装置向けのZ軸ガイド。低予圧・低振動でガタが無く精度も抜群です。

ZGシリーズは高剛性・不回転なため単軸で使用することが可能で、複数軸使用する必要のあるリニアガイドと比較して
省スペース・組立工数の削減・良好な荷重バランスを実現することが可能などのメリットがあります。

【特長】
■ころがり抵抗を極限まで低減
■ガイド単軸での使用ができ、装置の小型化が可能
■組立もカンタン。部材数も抑えてコストダウン
■X・Y繰り返し精度は0.5μｍ以下を実現
■フルカスタマイズ可能！ブシュ・ポストの特殊形状に対応

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報FA装置用Z軸多面形ガイド半導体製造装置位置決め機構コストダウン

【用途例】
■ボンダー
　・フリップチップボンダー
　・ダイボンダー
　・ワイヤーボンダー
■専用機
　・穴明け機ヘッド部
　・昇降ステージ用ガイド
　・位置決め装置
■実装機
　・各種実装機ヘッド部
　・チップピッカー
■加圧装置
　・圧着装置ヘッド
■検査装置
　・画像検査装置
　・顕微鏡　　　など多数

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型番・ブランド名	装置用Z軸多面形ガイド　「ミリオンガイド」
用途／実績例	詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。