株式会社日本エイピーアイ 大気圧イオン化質量分析装置『API-MS』
- 最終更新日:2020-01-15 16:24:04.0
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高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術をサポート!
当社は、半導体製造分野、有機EL製造分野及び先端研究分野において、
『API-MS』を用いた高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術を
サポートしています。
配管工事の施工実績としては、カミオカンデの次世代検出器XMASS用の
ガス供給設備やJAXAのはやぶさII帰還チェンバー用ガスサンプリング
システムなどがあります。
また『API-MS』法が、高感度なフィルムのガス透過性評価装置として
ISO登録されました。
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基本情報大気圧イオン化質量分析装置『API-MS』
【関連品】
■フィルムガス透過性評価装置『API-BARRIER』
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取扱企業大気圧イオン化質量分析装置『API-MS』
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