日本エクシード株式会社 超精密研磨技術
- 最終更新日：2019-07-31 13:00:18.0
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より平坦に、より滑らかに、より薄く、より美しく。超精密研磨技術で世界をリード
当社は、素材毎に独自の加工技術を用いた、比類ない精度と品質を提供しています。
1961年創業以来、長年にわたる研磨加工の経験の上に独自の研究開発を繰り返し、
様々な単結晶素材を手掛ける技術力を高次元で実現してきました。
5超(超平滑化・超平坦化・超薄化・超無歪み化・超清浄化)の研磨加工技術で
研究・開発を支援します。
【特長】
■表面の粗さをナノメートル(nm)レベルに
■平坦度、厚みバラツキをμmレベルに
■厚みや膜厚を数μm～数十μmに
■表面の歪み層を無くす
■原子レベルの金属コンタミネーション除去
■サブミクロンレベルのパーティクル除去
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基本情報超精密研磨技術
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■半導体材料、酸化物材料、化合物材料、金属材料の精密研磨加工及び洗浄
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