株式会社マツボー アーク検知器

 1usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。 パルスモニタとしても最適です。

・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。

・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。

・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。

基本情報アーク検知器

・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 半導体ファウンドリの量産現場で、エッチング装置、CVD、スパッタ等のパルスモニター、アーク検知器として実績がございます。

カタログアーク検知器

取扱企業アーク検知器

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株式会社マツボー

(1)産業機械事業 (2)情報精密機械事業 (3)粉体事業 (4)サポート&ソリューション事業

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