オーシャンフォトニクス株式会社 プラズマモニタ
- 最終更新日：2019-06-12 17:15:10.0
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エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！
オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内の
プラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。
これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、
半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。
『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの
HR4000またはバッファリング対応UV高感度モデルOCEAN HDX等の
分光器と関連アクセサリにより構成することが可能です。
半導体製造装置への組み込み等の量産時や特注のアプリケーションにも対応します。
【特長】
■広帯域のスペクトル測定に対応
■高い波長分解能
■光ファイバでの簡易接続
■ユーザフレンドリなソフトウェアOPwave+（カスタマイズ可能）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報プラズマモニタ
【ラインアップ】
■ファイバマルチチャンネル分光器 Flame
■高分解能ファイバマルチチャンネル分光器 HR4000
■高速データ取得・バッファリング分光器 OCEAN FX
■高分解能・バッファリング分光器 OCEAN HDX
■電子冷却裏面入射型高S/Nファイバマルチチャンネル分光器 QEPro
■その他各種アクセサリ
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業プラズマモニタ
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光関連機器・部品の輸入販売
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