オーシャンフォトニクス株式会社 膜厚測定

オーシャンオプティクスは、半導体、産業、医療および消費者市場の
アプリケーション向けに光学的および非光学的膜厚特性を測定するための
モジュラー式および完全統合型システムの両方を提供しています。

顧客は、シリコンウェーハの厚さを測定し、マスク用のフォトレジスト層を判断し、
コーティングの硬度および摩耗を試験するためのシステムを構成しています。

数量の多いOEMアプリケーション向けコンポーネントも利用できます。
これらのデバイスは、真空紫外から赤外までをカバーし、分光技術を
幅広いアプリケーションに役立てるレベルの精度と再現性を実現します。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 関連リンク - http://oceanphotonics.com/application/app16.html