日本エクシード株式会社 【加工素材】酸化物ウェーハ
- 最終更新日：2019-10-01 15:59:52.0
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パターン付きウェーハの裏面加工など！酸化物材料の精密研磨加工をご紹介
日本エクシードは、酸化物材料などの精密研磨加工及び洗浄を
行っております。
対応サイズは、Φ63mm～Φ150mm、3mm×3mm～100mm×100mm。
当社は、パターン形成済みのウェーハ裏面を指定のRa値で、
ラッピング(バックラップ)し薄くする技術を有しております。
【酸化物ウェーハ】
■対応サイズ：Φ63mm～Φ150mm、3mm×3mm～100mm×100mm
■厚み：20μm～
■TTV：5μm以下
■LTV(5mm×5mm)：0.4μm以下
■表面粗さ：0.2nm以下
■裏面粗さ：0.1μm～4.0μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報【加工素材】酸化物ウェーハ
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カタログ【加工素材】酸化物ウェーハ
取扱企業【加工素材】酸化物ウェーハ
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■半導体材料、酸化物材料、化合物材料、金属材料の精密研磨加工及び洗浄
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