漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で交換
『プラズマCVD装置』は、実験用に極端に簡素化して製作されたCVD装置です。
マスフロー本体は、メーカー品を使用。表示器、設定器は当社オリジナルで
製作し価格を下げております。
また、プラズマ発生域と試料の距離を変更できるよう、マイクロ波導波管を
上下できる機構を備えています。
【特長】
■実験用に極端に簡素化して製作
■マイクロ波導波管を上下できる機構を備えている
■試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で交換
■漏洩マイクロ波検出用も付属
■内部機構は全てコンパクトに設計されており省スペース化を実現
※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報プラズマCVD装置
【仕様】
■マイクロ波出力：1.5Kw
■排気：ロータリーポンプ
■導入ガス：5系統（配管加熱付き）
■温調：試料ステージ試料加熱（4系統）
■配管加熱（2系統）
■真空計：バラトロン
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