簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができます
当製品は、高周波加熱コイルの中心に試料ステージ（自動回転機構付き）があり、
外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができるCVD装置です。
サンプル導入口はチャンバー側面で、両側開閉可能。
簡単に試料セットする事ができます。
オプションでチャンバー上部にガス供給系（最大5系統）を設置する事も可能です。
【特長】
■外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができる
■サンプル導入口はチャンバー側面で、両側開閉可能
■簡単に試料セットする事ができる
■上部にガス供給系（最大5系統）を設置する事も可能（オプション）
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基本情報高周波レーザーCVD装置
【仕様】
■排気系：ロータリーポンプ（ターボポンプ御要望の場合は別途御相談下さい）
■試料ステージサイズ：20 × 40
■試料ステージ回転機構：ステッピングモーター（回転速度可変可能）
■真空計：ピラニー真空計
■レーザー入射装置：位置決め機構付き（X・Y・ゴニオ機構）
■チャンバー水冷機構付き
※YAGレーザーは価格には含まれておりません。
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